適合采用集成光源的緊湊外殼的薄膜厚度計(jì)AFW-100W原理分析

這是配備光譜儀的標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)，非常適合采用集成光源的緊湊外殼的薄膜厚度計(jì)?？梢赃M(jìn)行非接觸式測(cè)量，因此您不必注意涂層工作表面。

它涵蓋了廣泛的測(cè)量波長(zhǎng)和可測(cè)量的薄膜厚度。

可測(cè)量波長(zhǎng)：380nm～1050nm
可測(cè)量膜厚：100nm～60μm

反射分光膜厚計(jì)AFW-100W

反射分光式膜厚計(jì)測(cè)量原理

計(jì)算理論

C/F（曲線擬合）

求使測(cè)量反射率與理論反射率之差的平方最小的膜厚值。

推薦在波紋數(shù)為3個(gè)以下時(shí)使用（膜厚約1μm）。

FFT（快速傅里葉變換）

通過FFT計(jì)算確定某一波長(zhǎng)寬度內(nèi)表示膜厚的干涉波形的數(shù)量，并由此導(dǎo)出一個(gè)周期的波長(zhǎng)寬度。

建議在有3個(gè)或更多波紋時(shí)使用（膜厚約1μm）。