Excimer UVO3 清潔重整器 6 英寸兼容桌面型號
電子顯微鏡樣品的預處理
清潔樣品和夾具
提高樣品表面的潤濕性、親水性和親和力
提高接合面的附著力
表面改性
清洗晶圓和玻璃表面后，分解殘留有機物并清洗
提高涂覆前以及涂覆晶圓和玻璃表面的均勻性
兼容工作尺寸 6" (152mm)
載物臺傳輸準分子UV掃描照射法
工藝參數（照射速度、照射次數、照射距離）
可選工藝參數（N2 吹掃、加熱階段）
配備臭氧消減處理裝置
波長172nm Xe準分子紫外燈 利用光化學反應在室溫下進行短時間精密加工
市電，僅限 AC100V 電源
門聯鎖設備
節(jié)省空間的桌面型號
不使用汞燈
使用準分子UV光源進行光化學反應表面處理，由于光源的特性，照射物體的溫度不易升高，使得可以對容易受熱影響的物體進行低溫表面處理，例如薄膜材料。此外，與等離子體等物理表面處理不同，光化學反應的特點是加工精度高，不易對工件造成損壞。
| 產品名稱 | Excimer UVO3 清潔重整器 6 英寸兼容型號 |
| 型號 | E172-200 |
| 波長 | 172納米 |
| 目標工作尺寸 | 6"（□152 毫米） |
| 初始照度 | 20mW/cm2以上 |
| 連續(xù)照明操作 | 10分鐘內（由于輕量化和緊湊的風冷設計） |
| 外形尺寸 | 195（寬）x 380（深）x 480（高）毫米* |
| 公用事業(yè) | 電源AC100V 50/60Hz 2A |
| 定期更換零件 | 廢氣臭氧分解裝置建議1年或酌情更換 |
| 定期檢查 | 高壓電源、燈光源等1年或酌情 |
通過簡單的系統(tǒng)結構實現低成本和高性能。可以立即打開和關閉。風冷準分子燈是研究和開發(fā)的理想選擇。使用準分子UV燈的光學表面處理非常適合薄膜材料等容易受熱影響的物體的精密低溫表面處理，因為由于準分子燈的特性，工件的溫度不易升高。
| 產品名稱 | 實驗準分子172nm光源 |
| 型號 | E500-172-110 |
| 波長 | 172納米 |
| 光源 | Xe準分子燈 Φ18 x 120 mm |
| 初始照度 | 20mW/cm2以上 |
| 連續(xù)照明操作 | 10分鐘內（由于輕量化和緊湊的風冷設計） |
| 外形尺寸 | 燈箱 W 200 x H 45 x D 80 mm 電源部分 W 250 x H 133 x D 200 mm |
| 公用事業(yè) | 電源AC100V 50/60Hz 2A，去除臭氧需局部排氣 |
| 定期更換零件 | 高壓電纜、燈外部電極，建議更換周期 3 年或酌情 |
| 定期檢查 | 高壓電源、光源等 3年或酌情 |
