optiworks 4D動態(tài)干涉測量法技術分析
傳統的移相干涉儀使用壓電元件等移動參考平面，獲取干涉條紋的圖像，并計算相位分布。單次測量至少需要100毫秒，在此期間干涉儀與測量樣品之間會發(fā)生相對振動和空氣波動，導致干涉條紋發(fā)生波動，導致測量誤差增加。為了防止這種情況，需要光學面板、防振裝置、擋風玻璃等。
4D Technology的動態(tài)干涉儀是一種劃時代的系統，以其“動態(tài)干涉測量"解決了此類問題。
在“動態(tài)干涉"中，無需機械移動參考平面，一次圖像數據采集即可獲得四幀相移干涉圖。由于對相機的每個像素進行相移，因此可以穩(wěn)定地收集數據，并且由于一次測量的時間可以縮短到 30 微秒，因此可以在干涉圖像因振動等而發(fā)生變化之前的瞬間進行測量。
這使得可以在振動不可避免的環(huán)境中進行測量，測量遠處的樣品和移動物體，以及測量在室內進行環(huán)境試驗的樣品。
用于高級干涉儀的高級軟件。4D Technology 的 4Sight™ 被認為業(yè)界先進的干涉測量軟件。
數據采集
?可以在4Sight™測量控制臺查看實時圖像的同時進行調整
?多種數據采集模式，如單次、平均、連續(xù)、差分和突發(fā)（電影）
數據分析
?斜率、直方圖
?衍射分析（PSF、MTF、自協方差）
?幾何光學分析（點擴散強度分布、圓形或方形孔徑能量分布）
?澤尼克分析
?各種掩模函數和其他自定義分析函數可以添加。
